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實(shí)驗(yàn)室凈化工程就是控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸大氣的潔凈度及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。實(shí)驗(yàn)室凈化主要分為亂流式、層流式和復(fù)合式。

1、亂流式

空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內(nèi)之空氣過(guò)濾器(HEPA)進(jìn)入潔凈工程室，并由潔凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運(yùn)動(dòng)而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔室等級(jí)1,000-100,000級(jí)。構(gòu)造簡(jiǎn)單、系統(tǒng)建造成本低，潔凈室的擴(kuò)充比較容易，在某些特殊用途場(chǎng)所，可并用無(wú)塵工作臺(tái)，提高潔凈室等級(jí)。

2、層流式

層流式空氣氣流運(yùn)動(dòng)成一均勻之直線型，空氣由覆蓋過(guò)濾器后進(jìn)入室內(nèi)，并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng)。此型式適用于潔凈室等級(jí)需定較高的環(huán)境使用，一般其潔凈室等級(jí)為Class1~100。其型式可分為水平層流式和垂直層流式。

水平式空氣自過(guò)濾器單方向吹出，由對(duì)邊墻壁之回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng)，塵埃隨風(fēng)向排出室外，一般在下流側(cè)污染較嚴(yán)重。

垂直層流式，房間天花板完全以ULPA過(guò)濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵?？煽焖倥懦鍪彝舛粫?huì)影響其它工作區(qū)域。復(fù)合式，復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。

3、實(shí)驗(yàn)室凈化的主要方法有通風(fēng)：實(shí)驗(yàn)室經(jīng)常由于實(shí)驗(yàn)時(shí)間長(zhǎng)，人員多和實(shí)驗(yàn)過(guò)程中產(chǎn)生一些有害氣體，造成空氣污濁，對(duì)人體不利。為了防止實(shí)驗(yàn)室工作人員吸入或咽入一些有毒的、可致病的或毒性不明的化學(xué)物質(zhì)和有機(jī)氣體，實(shí)驗(yàn)室中應(yīng)有良好的通風(fēng)，必要時(shí)應(yīng)設(shè)空調(diào)。

4、實(shí)驗(yàn)室凈化控制濕度和溫度：實(shí)驗(yàn)室要求適宜的溫度和濕度。室內(nèi)的小氣候，包括氣溫、濕度和氣流速度等，對(duì)在實(shí)驗(yàn)室工作的人員和儀器設(shè)備有影響。夏季的適宜溫度應(yīng)是18-28℃，冬季為16-20℃，濕度在30%(冬季)-70%(夏季)之間。除了特殊實(shí)驗(yàn)室外，溫濕度對(duì)大多數(shù)理化實(shí)驗(yàn)影響不大，但是天平室和精密儀器室應(yīng)根據(jù)需要對(duì)溫濕度進(jìn)行控制。實(shí)驗(yàn)室凈化控制潔凈度：經(jīng)常保持實(shí)驗(yàn)室的清潔是非常重要的。室外大氣中的塵埃，借通風(fēng)換氣過(guò)程會(huì)進(jìn)入實(shí)驗(yàn)室，實(shí)驗(yàn)內(nèi)含塵量過(guò)高，空氣不凈，不但影響檢測(cè)結(jié)果，而且，其微粒落在儀器設(shè)備的元件表面上，可能構(gòu)成障礙，甚至造成短路或其他潛在危險(xiǎn)。潔凈實(shí)驗(yàn)室是要花銀子的，建議不是特殊需要可不進(jìn)行潔凈實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)，若有需要可以對(duì)大型精密儀器室、特殊實(shí)驗(yàn)室進(jìn)行設(shè)計(jì)，一般達(dá)到萬(wàn)級(jí)凈化要求即可。若有多個(gè)潔凈實(shí)驗(yàn)室，送排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)各自獨(dú)立設(shè)計(jì)，獨(dú)立使用。